Hisham K Amr

Mahmoud

Sébastien De Rossi

Evgueni Meltchakov

Blandine Capitanio

Muriel Thomasset

Maxime Vallet

Franck Delmotte
email: franck.delmotte@institutoptique.fr

Experimental study and modeling of extreme ultraviolet 4000 lines/mm diffraction gratings coated with periodic and aperiodic Al/Mo/SiC multilayers

Multilayer coated diffraction gratings are crucial components for extreme ultraviolet (EUV) applications as spectroscopy or spectro-imaging. However, for high groove density, the smoothening of the grating surface profile with multilayer deposition remains a limitation that requires more investigation. In this paper, we report on the design, characterization, and modeling of 4000 lines/mm diffraction gratings coated with periodic and aperiodic Al/Mo/SiC multilayers for EUV radiation. Two types of gratings, with different groove depths are compared. Multilayer coatings were designed using a genetic algorithm to maximize the 1 𝑠𝑡 -order diffraction efficiency in the 17-21 nm and in the 19-23 nm wavelength ranges at normal incidence. Periodic and aperiodic multilayers with different numbers of layers were deposited by magnetron sputtering on the 2 types of fused silica gratings and the grating groove profile evolution was measured by atomic force microscopy, and by cross-section transmission electron microscopy. The first-order diffraction efficiency was measured in the EUV at 5 • incidence using monochromatic synchrotron radiation and modeled using the Rigorous Coupled-Wave Analysis method. The simulation models refined by using the Debye-Waller factor to account for the multilayer interfacial roughness show a good agreement with experimental data. The results reported in this study will allow for designing efficient EUV multilayer gratings for high-resolution spectro-imaging instruments.

Introduction

The development of multilayer-coated gratings for X-rays and extreme ultraviolet (EUV) radiation is crucial for several applications that require high spectral resolution: spectroscopy, beamsplitters or monochromators for synchrotron radiation sources, spectro-imagers for space science, etc. [START_REF] Spiller | High-performance multilayer coatings for euv lithography[END_REF][START_REF] Tarrio | Synchrotron beamline for extreme-ultraviolet multilayer mirror endurance testing[END_REF][START_REF] Wang | Current research activities in the field of multilayer for euv, soft x-ray and x-rays in ipoe[END_REF]. Indeed, soft x-ray and EUV multilayer gratings that satisfy both the grating diffraction and multilayer Bragg interference requirements provide higher diffraction efficiency when compared to single-layer coated gratings [START_REF] Jark | Enhancement of diffraction grating efficiencies in the soft x-ray region by a multilayer coating[END_REF][START_REF] Feng | Mo/si lamellar multilayer gratings with high efficiency and enhanced resolution for the x-ray region of 1000-1700 ev[END_REF][START_REF] Mahmoud | Al/mo/sic multilayer diffraction gratings with broadband efficiency in the extreme ultraviolet[END_REF]. Several types of multilayer grating have been theoretically and experimentally studied such as blazed multilayer gratings [START_REF] Voronov | A 10,000 groove/mm multilayer coated grating for euv spectroscopy[END_REF][START_REF] Voronov | Enhancement of diffraction efficiency via higher-order operation of a multilayer blazed grating[END_REF], sliced multilayer gratings [START_REF] Bajt | High-efficiency x-ray gratings with asymmetric-cut multilayers[END_REF], lamellar or trapezoidal multilayer gratings [START_REF] Feng | Mo/si lamellar multilayer gratings with high efficiency and enhanced resolution for the x-ray region of 1000-1700 ev[END_REF][START_REF] Pradhan | Fabrication and characterization of w/b4c lamellar multilayer grating and nbc/si multilayer phase-shift reflector[END_REF], and alternate multilayer gratings for tender x-rays [START_REF] Yang | Analytic theory of alternate multilayer gratings operating in single-order regime[END_REF][START_REF] Feng | Cr/c lamellar multilayer grating in conical diffraction mounting for beam splitter used in x-ray free-electron lasers[END_REF][START_REF] Choueikani | High-efficiency b 4 c/mo 2 c alternate multilayer grating for monochromators in the photon energy range from 0.7 to 3.4 kev[END_REF].

In the past, several material combinations have been reported to achieve high reflectance in the EUV for multilayer-coated mirrors. Among them, Al/Mo/SiC multilayers provide high reflectance and good stability in the wavelength range 17 nm -40 nm, a region of particular interest for solar physics [START_REF] Meltchakov | Development of al-based multilayer optics for euv[END_REF][START_REF] Rochus | The solar orbiter eui instrument: the extreme ultraviolet imager[END_REF]. Recently, we have demonstrated that 3600 l/mm gratings coated with Al/Mo/SiC multilayer provide high diffraction efficiency around 27 nm wavelength [START_REF] Mahmoud | Al/mo/sic multilayer diffraction gratings with broadband efficiency in the extreme ultraviolet[END_REF].This study was limited to one type of grating with a groove depth of around 20 nm. We have shown that the peak efficiency was limited by the smoothening of the initial trapezoidal surface profile as a function of the number of multilayer periods. We have also reported that a grating coated with a 12-layer aperiodic multilayer provides broader efficiency as compared to a periodic multilayer.

Though, the following important questions were not addressed in our initial study: how do the groove density and the groove depth impact the evolution of the surface profile and the experimental diffraction efficiency? How does the interfacial roughness affect the diffraction efficiency of the grating? Can aperiodic coatings with more layers increase the broadband efficiency of the grating?.

In this paper, we report on the characterization and modeling of multilayer gratings with high efficiency between 17 nm and 23 nm wavelength at near-normal incidence and we attempt to respond to the previous questions. We compare the properties of periodic and aperiodic Al/Mo/SiC multilayer designs deposited on fused silica grating samples with higher groove density and with 2 different groove depth configurations.

In this paper, we report on the characterization and modeling of multilayer gratings with high efficiency between 17 nm and 23 nm wavelength at near normal incidence. We compare the properties of periodic and aperiodic Al/Mo/SiC multilayer designs deposited on fused silica grating samples. The diagram in Fig. 1 illustrates the structure of periodic Al/Mo/SiC multilayers deposited on amorphous silica grating of two different groove depths (type 1 and type 2). The incident photons are directed perpendicularly to the grooves of the grating with an angle of incidence 𝜃, and diffracted into +1, 0, and -1 orders at an angle 𝜙. Both types of gratings have the same width (𝑊), periodicity (𝑃), and full-width half maximum fill factor ( 𝑓 𝑓 = 𝑊/𝑃). 𝛼 represents the grating slope. 𝛼 = 90 • correspond to a lamellar grating while 𝛼 < 90 • correspond to a trapezoidal grating. Each type of grating has a different grating depth (ℎ) and a different multilayers period (𝑑). Grating type 1 corresponds to a depth equal to half of the multilayer period (ℎ 1 = 0.5𝑑 1 ), while grating type 2 corresponds to a depth equal to three halves of the multilayer period (ℎ 2 = 1.5𝑑 2 ). Theoretically, for an ideal structure, both types of grating should provide similar diffraction efficiency. However, in practice, the slopes of the trapezoidal profile, the number of deposited layers, and the type of design (periodic vs aperiodic) may have a different impact on the diffraction efficiency for each type of grating. One objective of this study is to highlight the distinct advantages of each grating type for EUV applications, such as the Solar C mission, targeting the 19 nm wavelength range [START_REF] Shimizu | The solar-c (euvst) mission: the latest status[END_REF].

After a brief description of the simulation and experimental tools, we present the design, characterization, and modeling of the multilayer coatings deposited on flat substrates. Then, we study the evolution of the grating profile after multilayer deposition by means of atomic force microscopy (AFM) and transmission electron microscopy (TEM). The +1-order diffraction efficiency of the periodic and aperiodic multilayer gratings has been measured at 5 • incidence using EUV monochromatic synchrotron radiation measurements. Finally, we propose a model for the +1-order diffraction efficiencies using Rigorous coupled-wave analysis (RCWA) and Debye-Waller (DW) approximation and compare it with experimental results.

Simulation tools

The optimization of Al/Mo/SiC over a silica flat substrate is accomplished by the IMD software [START_REF] Windt | Imd-software for modeling the optical properties of multilayer films[END_REF] for periodic and aperiodic designs. The optimization process was carried out using a genetic algorithm, without taking into account interfacial roughness, with the aim of achieving maximum reflectance over a specific wavelength domain at normal incidence. For grating type 1, the wavelength range was between 17 nm and 21 nm, while for grating type 2, it was between 19 nm and 23 nm. We used optical constants from references [START_REF] Windt | Imd-software for modeling the optical properties of multilayer films[END_REF][START_REF]Cxro x-ray interactions with matter[END_REF], with densities of 2.7 g/cm 3 for Al, 10.22 g/cm 3 for Mo, and 3.22 g/cm 3 for SiC.

To simulate multilayer over trapezoidal grating, a homemade MATLAB code is combined with an open-source RCWA software [START_REF] Hugonin | Reticolo software for grating analysis[END_REF] without considering interfacial roughness. This code has been discussed in a previous paper [START_REF] Mahmoud | Al/mo/sic multilayer diffraction gratings with broadband efficiency in the extreme ultraviolet[END_REF].

Experimental setup

Two sets of 4000 lines/mm grating substrates were manufactured by ZEISS, each one with a different groove depth. The fabrication process included initial spin coating, followed by holographic exposure, ion beam etching, and cleaning in O 2 plasma. We used three samples, with dimensions of 20x20x6 mm 3 , in each set. The specification for the groove depths, respectively 4.4 nm ±10% and 14.4 nm ±10% correspond to the two types of gratings shown in Fig. 1 for a central wavelength of 19 nm. The grooves of both grating types have a trapezoidal shape, and the initial surface roughness of the substrate is less than or equal to 0.2 nm.

Both periodic and aperiodic multilayers were deposited on flat silicon (Si) or fused silica (SiO 2 ) grating substrates using a Plassys ® MP800 magnetron sputtering machine in an ISO6 cleanroom facility at Laboratoire Charles Fabry. The flat Si substrates used were Si wafer pieces measuring 20x20 mm 2 , with a thickness of 1 mm and a (100) crystal orientation. The surface microroughness of the substrates was in the range of 0.3 nm. The grating samples were coated with two different multilayer coatings on each half using a mask during the deposition process. The deposition parameters and sputtering machine geometry have been previously described [START_REF] Meltchakov | Development of al-based multilayer optics for euv[END_REF][START_REF] Gautier | Study of normal incidence of three-component multilayer mirrors in the range 20-40 nm[END_REF]. The deposition process employed SiC and Mo targets with a purity of 99.5% and 99.95%, respectively, and a Si-doped (1.5 wt. %) Al target with a purity of 99.99%. The plasma discharge was established using an argon pressure of 2 mTorr, a DC-Current of 0.06 A, and RF power of 200 W and 150 W for the Mo, Al, and SiC targets, respectively. GIXR was carried out using a Discover D8 diffractometer from BRUKER ® . The diffractometer was fitted with a Cu K𝛼 radiation source having a wavelength of 0.154 nm, a rotary absorber, Soller and divergence slits, a collimating Gobel mirror, and a scintillator. The reflectance curves were analyzed in the specular configuration, with grazing angles ranging from 0 to 6 degrees, in steps of 0.01 degrees. The GIXR data was analyzed using the IMD software [START_REF] Windt | Imd-software for modeling the optical properties of multilayer films[END_REF].

The grating samples were characterized using atomic force microscopy (AFM) in non-contact mode, utilizing the AFM NX 20 from Park System company. The measurements were performed in an ISO7 cleanroom at SOLEIL Synchrotron, and the image sizes were 2x2 𝜇m 2 . The AFM data were analyzed using WSxM 5.0 software [START_REF] Horcas | Wsxm: A software for scanning probe microscopy and a tool for nanotechnology[END_REF] to determine various grating parameters such as top and bottom roughness, groove depth (𝑑), fill factor ( 𝑓 𝑓 ), and the slope of the trapezoidal (𝛼). The surface morphology underwent multiple processes by WSxM 5.0 software to achieve the grating profile. These processes included rotating the image to align the grooves vertically and subsequently averaging the groove profiles in a selected area.

Two grating samples with Al/Mo/SiC periodic multilayer were measured by transmission electron microscopy (TEM). The cross-section samples were prepared using an FEI ThermoFisher Helios Nanolab 660 and a Pt layer was deposited on top of the multilayer to protect it during the ion beam etching process. Energy dispersive x-ray spectrometry (EDX) was carried out in scanning TEM (STEM) mode using an FEI ThermoFisher Titan3 G2 80-300 microscopy with Cs probe corrector and Super X EDX detector operating at 300 kV.

The multilayer-coated Si samples and gratings were also characterized by soft x-ray reflectometry (SXR) at the Metrology and Tests beamline, SOLEIL synchrotron. The experimental conditions used were the same as in Ref. [START_REF] Mahmoud | Al/mo/sic multilayer diffraction gratings with broadband efficiency in the extreme ultraviolet[END_REF]. The suppression of high harmonics was achieved using a 0.5 𝜇m Al filter and a 3-mirror low-pass filter that utilized the Si-coated strips. The input and output mirrors of the low pass filter were set at an angle of incidence of 3.5 • . A detector consisting of an Al-coated Si photodiode was used, and the calibration in the energy of the monochromator was confirmed by measuring the position of the Al L 2,3 absorption edge.

The beam was estimated to be 96% s-polarized [START_REF] Mahmoud | Al/mo/sic multilayer diffraction gratings with broadband efficiency in the extreme ultraviolet[END_REF]. To measure the diffraction efficiencies, the detector was rotated with a fixed incidence angle and wavelength to scan the order of diffraction of interest. These detector scans were repeated for each wavelength in the range of interest. Initially, one sample of each grating type has been characterized before the deposition with GIXR as shown in Fig. 2. The effective medium approximation model (EMA) [START_REF] Kock | Growth behavior and intrinsic properties of vapor-deposited iron palladium thin films[END_REF] has been used to extract some information such as thickness (𝑇) and density (𝜌) of the effective layer which represents the grating height and fill factor, respectively. The results are shown in Table 1 indicate that grating type 1 and grating type 2 have averaged heights of 5.3 nm and 16.1 nm respectively.

Multilayer Design

Initial parameters for the design

It should be noted that SiO 2 has a theoretical density of 2.2 g/cm 3 [START_REF]Cxro x-ray interactions with matter[END_REF]. Thus, if the grating were perfectly symmetrical ( 𝑓 . 𝑓 = 0.5), the density of the effective layer would be 1.1g/cm 3 . The fact that the densities of the effective layer are less than 1.1 g/cm 3 indicates that the fill factor is less than 0.5 for both types of gratings. It is noteworthy that the 𝑇 values obtained through the EMA Table 1. The effective layer thickness (𝑇), density (𝜌), and roughness (𝜎 layer ) along with the substrate roughness (𝜎 substrate ) were obtained using the EMA model.

Grating Type 𝑇 (nm) 𝜌 (g/cm 3 ) 𝜎 substrate (nm) 𝜎 layer (nm) For this study, a periodic Al/Mo/SiC multilayer was optimized by IMD to achieve the best broadband reflectance in the wavelength range of 17-21 nm. The initial number of periods for the optimization was fixed to 6 (𝑁 = 6), as it was found to be the optimal number of periods in a previous experimental study [START_REF] Mahmoud | Al/mo/sic multilayer diffraction gratings with broadband efficiency in the extreme ultraviolet[END_REF]. The optimized thicknesses were found to be 3.84 nm, 4.33 nm, and 1.99 nm for Al, Mo, and SiC, respectively. A 1 nm SiC is added to the top SiC layer to create a final 3 nm thick top SiC layer, offering protection against oxidation and diffusion.

Periodic multilayer design

This protective layer is needed for ensuring the long-term stability of the multilayers [START_REF] Meltchakov | Single and multi-channel al-based multilayer systems for space applications in euv range[END_REF]. The +1-order diffraction efficiency of this optimized multilayer structure deposited on a grating substrate was simulated by RCWA with parameters of 𝑁 = 6, 𝑃 = 250 nm, and 𝑓 𝑓 = 0.5. The results plotted in Fig. 3(a) showed good broadband efficiency for grating type 1 (ℎ 1 = 5.3 nm), but poor results for grating type 2 (ℎ 2 = 16.1 nm), especially in wavelengths ranging from 17 nm to 19 nm. Note that the diffraction efficiency pattern is more symmetrical for type 1 than for type 2. This indicates that for applications that require broadband diffraction efficiency, grating type 1 will be less sensitive to errors in groove depth. Therefore, the thickness of the multilayers was re-optimized for grating type 2 by shifting the wavelength by 2 nm to target the highest broadband reflectance in the wavelengths 19-23 nm. These new multilayer thicknesses were found to be 5.01 nm, 4.37 nm, and 1.99 nm for Al, Mo, and SiC, respectively, with a 1 nm protection layer of SiC. The +1-order diffraction efficiency is plotted in Fig. 3(b) as a function of groove depth and wavelength and shows high broadband efficiency for grating type 2 in wavelengths ranging from 19 nm to 23 nm. The variation of +1-order diffraction efficiency with 𝛼 is also plotted in Fig. 3(c) for each grating. Grating type 1 (ℎ 1 = 5.3 nm) provides high efficiency even with small values of angles 𝛼. In contrast, grating type 2 (ℎ 2 = 16.1 nm) shows low efficiency for angles 𝛼 lower than 15 degrees.

Aperiodic multilayer design

Recent literature has shown that the theoretical study of aperiodic multilayers on the grating demonstrates interesting wideband efficiency [START_REF] Mahmoud | Al/mo/sic multilayer diffraction gratings with broadband efficiency in the extreme ultraviolet[END_REF][START_REF] Yang | A compact extreme ultraviolet high-throughput spectrometer based on the multilayer varied-line-spacing grating[END_REF][START_REF] Yang | Wideband multilayer gratings for the 17-25 nm spectral region[END_REF]. The IMD software was used to optimize two aperiodic designs for each type of grating. The thickness of each layer in the optimized multilayer designs is shown on the y-axis, and the position in the multilayer stack is indicated in the x-axis in Fig. 4. The thickness of Al, Mo, and SiC layers are plotted respectively in blue, red, and green. For each design, the top SiC layer is about 3 nm thick, ensuring the long-term stability of the multilayers [START_REF] Meltchakov | Single and multi-channel al-based multilayer systems for space applications in euv range[END_REF].

In Fig. 4

Multilayer deposition and modeling

In order to assess the quality of the multilayer structures used for grating type 1, three different samples have been deposited on flat silicon substrates: periodic (samples MP21074, 𝑁 = 10), 18-layer aperiodic (sample MP21076), and 24-layer aperiodic (sample MP21082). GIXR and SXR were used to characterize the three test samples, and the results are shown in Fig. 6(a) and Fig. 6(b) respectively. The IMD models for the three samples are also plotted in Fig. 6 and are in good agreement with the measured data. The models use theoretical material thicknesses for the periodic and aperiodic designs (see Table .2 and Fig. 4). The thickness of the top oxide layer used to model MP21074, MP21076, and MP21082 was 0.5 nm, 0.6 nm, and 0.9 nm, respectively. The model used for the periodic multilayer (MP21074) includes a cap layer of SiC with a thickness of 0.99 nm on the top of the last SiC layer. The discrepancy observed around 17 nm between the modeled and measured data for aperiodic multilayer designs may be due to the inaccuracy in Al optical constants near the L 2,3 absorption edge (as indicated in reference [START_REF] Rebellato | Analyses of tabulated optical constants for thin films in the euv range and application to solar physics multilayer coatings[END_REF]), or to the potential difference between the targeted and actual thickness of layers in the aperiodic design. after deposition appears to be trapezoidal for 𝑁 = 4, 6, and 8. However, the profile starts to have a sinusoidal shape on the top part for 𝑁 = 10. The evolution of the grating profile shape (from trapezoidal to sinusoidal) is consistent with previous results reported in the case of Al/Mo/SiC multilayer on a 3600 l/mm grating with 21 nm groove depth [START_REF] Mahmoud | Al/mo/sic multilayer diffraction gratings with broadband efficiency in the extreme ultraviolet[END_REF]. Fig. 8 also reveals that the depth of the grooves at the surface of the multilayer grating is increased compared to the depth of the grooves in the grating before deposition. This increase could be attributed to the fact that the period thickness of the multilayer is almost twice the depth of the grooves in the original grating.

That difference may have an impact on the profile evolution of the multilayer grating.

In relation to aperiodic designs 1 and 2 as applied to grating type 1, a consistent trend was observed: the depth increased after deposition compared to its initial state prior to deposition.

Additionally, the profile maintained its trapezoidal shape, corresponding to the profile shape of the periodic designs with (𝑁 = 6) and (𝑁 = 8), both possessing the same number of layers.

In Fig. 9 the grating profiles for grating type 2 before and after deposition are shown. The groove profiles are shown before (in black) and after (in color): green for 𝑁 = 4, red for 𝑁 = 6, pink for 𝑁 = 8, and blue for 𝑁 = 10. The results indicate that the profiles after deposition change to the sinusoidal shape for all 𝑁 except 𝑁 = 4, which remains a trapezoidal profile. In the case of 𝑁 = 6 and 𝑁 = 8, the depth of the grooves in the multilayer grating is also increased compared to the depth of the grooves in the grating before deposition. However, for 𝑁 = 4 and 𝑁 = 10, the change is not as pronounced. This difference in behavior could be attributed to the higher roughness values of 𝑁 = 6 and 𝑁 = 8 samples, as shown in Table .6 in the appendix. It is worth noting that 𝑁 = 6 and 𝑁 = 8 was deposited on different halves of the same grating sample. These results suggest that the evolution of the grating profile (in shape and height) depends on the initial grating roughness and on the individual layer thicknesses. In order to get more insight into these phenomena, we performed TEM analyses on two grating samples, one of each type. In relation to aperiodic designs 3 and 4 applied to grating type 2, a comparable pattern emerged where the depth exhibited an increase following deposition, in contrast to its initial depth before deposition. Additionally, the profile transitioned from a trapezoidal shape to a superior top sinusoidal configuration. The profile shape obtained for aperiodic designs 3 and 4 is consistent with the profile shape of the periodic designs with 𝑁 = 6 and 𝑁 = 8, both having an identical number of layers. It is worth noting that the 3600 l/mm multilayer grating studied previously [START_REF] Mahmoud | Al/mo/sic multilayer diffraction gratings with broadband efficiency in the extreme ultraviolet[END_REF] did not exhibit any change of groove depth after deposition of up to 16 periods. Thus, the reduction of the grating period from 277.7 nm to 250 nm seems to have a significant impact on the growth process.

In Fig. 10(a), it is clear that the trapezoidal profile displays noticeable asymmetry and tilt towards the left. The profile remains approximately trapezoidal from 𝑁 = 1 to 𝑁 = 6. However, when the number of periods increases above 7, the grating profile transitions to a sinusoidal shape at the top. In Fig. 11(a), the asymmetry of the trapezoidal grating is clearly visible, the slopes on the left side being larger than the slopes on the right side. The profile keeps its trapezoidal shape from 𝑁 = 1 to 𝑁 = 3. However, after deposition of 4 or 5 periods, the grating's profile transitions to a more rounded shape at its edges. When 𝑁 reaches 6, the grating profile changes to a sinusoidal shape at the top. These observations are consistent with the AFM measurements reported in Fig. 9. It is also interesting to note that, for both types of gratings, the top profile of the multilayer grating shifts towards the right with increasing 𝑁. This phenomenon that has already been reported and may be due to a phenomenon has been reported previously [START_REF] Feng | Mo/si lamellar multilayer gratings with high efficiency and enhanced resolution for the x-ray region of 1000-1700 ev[END_REF][START_REF] Voronov | Enhancement of diffraction efficiency via higher-order operation of a multilayer blazed grating[END_REF] and may be attributed to the fact that the average direction of atomic flux is not perfectly normal to the surface of the substrate.

In Figs. 10(b-f), the individual layers are well defined and transitions between layers appear to be sharp except for the first period on the substrate. We can clearly see roughness on the top of the first Al layer that propagates to the next Mo and SiC layers as shown in Fig. 10(b). However, the deposition of the following periods smoothed up the interfaces and, for 𝑁 = 2 to 𝑁 = 10, minimal roughness or interdiffusion is observed on the top, bottom, and slopes of the multilayer gratings.

The EDX-STEM images in Fig. 11(b-f) demonstrate that the depositions of Al, Mo, and SiC exhibit a uniform appearance, with no noticeable interdiffusion or roughness on the top, bottom, or right slope of the trapezoidal gratings. Nevertheless, interdiffusion becomes apparent on the left side of the slope where the three deposited materials appear to interdiffusion. Moreover, the first Al layer doesn't exhibit any significant roughness as compared with grating type 1. This may be attributed to the fact that the Al layer in grating type 2 is thicker than in grating type 1. The value of the trapezoidal slope 𝛼 is an important parameter that affects the efficiency of diffraction gratings. We have computed 𝛼 from the left and right sides of the trapezoidal for both types of gratings (grating type 1 and 2). The slope was estimated from the red lines on the HAADF image (shown as insets on Fig. 12) using the Fiji software [START_REF] Schindelin | Fiji: an open-source platform for biological-image analysis[END_REF]. Fig. 12(a) shows the 𝛼 evolution from the grating surface (𝑁 = 0) to the last period of Al/Mo/SiC at 𝑁 = 10 for grating type 1. It can be observed that 𝛼 decreases almost linearly for both sides as 𝑁 increases. The same observation has been made for grating type 2 in Fig. 12(b). In this case, the asymmetry of the 2 slopes appears clearly. Note that the initial slopes of the grating substrates are significantly higher for grating type 2 than for grating type 1. This difference is also confirmed by AFM measurements.

Multilayer grating diffraction efficiency: results and modeling

The SXR measurements of the +1-order diffraction efficiency of the 6 samples of grating type 1 (respectively type 2) at normal incident angle 𝜃 = 5 • are shown in Fig. 13 (resp. Fig. 14).

The peak efficiency for the periodic multilayers on grating type 1(Fig. 13(a-d)) increases from Table 3. Grating type 1 parameter used to simulate +1 order efficiencies in Fig. 13. The aperiodic designs 1 and 2, with 18 and 24 layers respectively, present a broader bandwidth and Fig. 13(f)). Similarly, aperiodic designs 3 and 4, which have respectively 18 and 24 layers, show wider bandwidths than the periodic designs. This is likely due to the fact that aperiodic designs can have a more uniform distribution of the multilayer periods, leading to a broader range of wavelengths being diffracted efficiently. These results confirm that the use of aperiodic multilayer on diffraction grating can lead to broader diffraction efficiency bandwidths compared to periodic multilayers.

All the measurements were then modeled using the RCWA method with the grating parameters obtained from 4). Based on the modeling of the multilayer samples, an oxidation layer is included in the RCWA models. To simplify the RCWA fitting model parameters, the same value of oxide thickness (1.0 nm) was chosen for all samples. In the simulation, the presence of this oxidation layer slightly reduces the amplitude of the +1 st diffraction efficiency and causes a slight shift towards shorter wavelengths. Note that the parameters 𝛼 and 𝑓 𝑓 in Table .3 and Table .4 are average values computed from the AFM grating profiles after deposition in Fig. 8 and Fig. 9, respectively. The values of ℎ 1 and ℎ 2 were estimated by adjusting the grating depth in the RCWA model until a good agreement was achieved between the measured and simulated +1-order diffraction (see Table .3 and Table .4). The ℎ values derived from RCWA modeling for both grating types 1 and 2 are in good agreement with the AFM measurements after deposition (see Fig. 8 and Fig. 9). Note that ℎ 1 (or ℎ 2 ) is the only fitted parameter in the model. The results of the model are plotted in Fig. 13 and Fig. 14 and show a reasonable agreement with experimental data.

However, due to the fact that the RCWA calculation doesn't take into account any interfacial roughness, the simulated values appear to be higher than the experimental data.

In order to assess the effect of multilayer interfacial roughness on the +1-order diffraction efficiency of the gratings, we decided to use the Debye-Waller factor. The DW factor is a simplified model to account for the effect of roughness and interfacial mixing in multilayer structures [START_REF] Spiller | Soft X-ray optics[END_REF]. We applied the DW factor to the diffraction efficiency calculated by RCWA (𝐸 RCWA ), the following equation.1 where 𝜎 DW is the DW roughness parameter and 𝐸 DW the resulting efficiency that accounts for roughness.

𝐸 DW = 𝐸 RCWA × exp - 4𝜋 cos(𝜃)𝜎 DW 𝜆 2 (1)
For each sample, 𝜎 DW is set to the average of the top and bottom roughness values of the grating after the deposition according to the tables in the appendix section. The results plotted in Fig . 13 and Fig . 14 show that the Debye-Waller model significantly improves the agreement between the simulations and the measurements, indicating the importance of considering roughness and interfacial mixing effects in the design and characterization of multilayer gratings. In particular, due to the higher roughness values for the samples of grating type 2 (see Table .5 and Table .6 in appendix), the Debye-Waller model in Fig . 14 shows a significant decrease in the diffraction efficiencies, which are consistent with the +1-order measurements.

The results shown in Fig. 13(e) and Fig. 14(e) of 18 layers confirm that aperiodic coating provides broadband efficiency, as already demonstrated for 12 layers in reference [START_REF] Mahmoud | Al/mo/sic multilayer diffraction gratings with broadband efficiency in the extreme ultraviolet[END_REF]. In addition, increasing the number of layers to 24 layers achieves the highest efficiency over a broader spectral range (see Fig. 13(f) and Fig. 14(f)). (design 1) and 24 layers (design 2) on grating type 1 exhibit peak efficiencies of 5.8% and 7.1%, respectively, along with corresponding bandwidths of 3.7 nm and 3.9 nm. For aperiodic designs on grating type 2, the peak efficiencies reach 4.7% and 5.8%, along with bandwidths of 3.5 nm and 3.7 nm, respectively with 18 layers (design 3) and 24 layers (design 4).

Furthermore, the peak efficiencies of grating type 2 samples (both periodic and aperiodic) in Fig. 15(a) are lower than the ones of gratings type 1. This may be explained partly by the fact that the initial grating roughness is higher for these samples. Indeed, the effect of roughness can be seen on the simulations in Fig. 14(b) and Fig. 14(f). In addition, both types of grating are not centered at the same wavelength. In order to get a more straightforward comparison of grating type 1 and type 2, we plotted in Fig. 16(a) the simulated efficiency of a 6-period multilayer grating as a function of the groove depth for a wavelength of 19 nm. We used the thickness values of 383 periodic design 1 (see Table 2), a 𝑓 𝑓 of 0.44 (taken from Table 3), and 3 different values for 𝛼= 90 • (lamellar grating), 25.1 • (AFM average value for grating type 2) and 9.6 • (AFM average value for grating type 1). For an ideal grating structure (𝛼= 90 • ), Fig. 16(a) confirms that both type 1 and type 2 gratings provide the same diffraction efficiency. It's also noticeable that 𝛼 has minimal impact on the efficiency of the +1-order for a groove depth of 5 nm, which corresponds to the grating type 1. However, when the groove depth is 15 nm (grating type 2), decreasing 𝛼 leads to a significant decrease in the +1-order diffraction efficiency of the grating. Thus, even if gratings type 1 may be more difficult to fabricate and present lower values of slopes, this study shows that they can attain higher diffraction efficiency in the EUV.

In Fig. 16(b), we compare the diffraction efficiency of the best periodic and aperiodic samples for gratings type 1 and 2. It is interesting to note that the peak efficiency for aperiodic designs reaches values similar to the best periodic sample and provides a much wider bandwidth. In the case of grating type 1, the number of deposited layers is the same for periodic (𝑁 = 8) and aperiodic (24 layers) and the bandwidth is almost twice as wide for the aperiodic design. These results confirm the interest in aperiodic-multilayer coated gratings for spectro-imaging instruments such as Solar C. We have also plotted in Fig. 16(b) for comparison the results previously reported by Seely et al. [START_REF] Seely | Normal-incidence efficiencies of multilayer-coated laminar gratings for the extreme-ultraviolet imaging spectrometer on the solar-b mission[END_REF][START_REF] Seely | Multilayer grating for the extreme ultraviolet spectrometer (eis)[END_REF] with a 20-period Mo/Si coated lamellar grating. The peak efficiency and bandwidth achieved by Seely et al. [START_REF] Seely | Normal-incidence efficiencies of multilayer-coated laminar gratings for the extreme-ultraviolet imaging spectrometer on the solar-b mission[END_REF] were 8% and 1.1 nm, respectively. In comparison, for grating type 1, the 8-period Al/Mo/SiC multilayer achieved a peak efficiency of 8.1% with a bandwidth of 1.8 nm, while the Al/Mo/SiC aperiodic design 2 attained a high-efficiency plateau with a bandwidth of 3.9 nm.

Conclusion

In this study, Al/Mo/SiC periodic and aperiodic multilayers were designed to maximize 1st-order diffraction efficiency in the wavelength ranges of 17-21 nm and 19-23 nm. 4 periodic samples (with 𝑁 varying from 4 to 10) and 2 aperiodic designs (with 18 and 24 layers) were deposited by magnetron sputtering on two types of grating substrates with a groove density of 4000 l/mm and different groove depths: ≈5 nm (grating type 1) and ≈16 mn (grating type 2). AFM measurements showed that the top parts of the initial trapezoidal grating profile tend to have a more sinusoidal profile as the number of layers increases for both types of gratings. AFM measurements also reveal that the depth of the grooves increase with the multilayer deposition for these 4000 l/mm grating, which was not the case for the 3600 l/mm grating previously studied [START_REF] Mahmoud | Al/mo/sic multilayer diffraction gratings with broadband efficiency in the extreme ultraviolet[END_REF]. Additional TEM cross-section measurements on 2 multilayer grating samples (one of each type) confirm this grating profile evolution. In addition, the first-order diffraction efficiencies of all multilayer grating samples were measured by SXR and modeled by RCWA. For periodic-multilayer gratings, maximum efficiency is reached for 6 to 8 periods. For a larger number of periods, the efficiency was found to decrease due to the evolution of the grating profile. The RCWA simulations were performed using the multilayer parameters previously determined by analyzing the multilayer designs deposited on flat silicon substrates by GIXR and SXR. The only free parameter in the simulation was the depth of the groove, which was found to vary with the multilayer deposition.

The model was further enhanced using the Debye-Waller factor to account for the multilayer interfacial roughness. A good agreement was obtained between simulation and experimental data for all the multilayer grating samples. Furthermore, large bandwidths with peak efficiencies are close to the periodic ones. were achieved by using aperiodic multilayer designs with 24 layers.

Finally, experimental results with periodic and aperiodic multilayers also showed that grating type 1 is less sensitive to the slope of the trapezoidal profile and can provide higher efficiency than grating type 2. These results confirm that aperiodic multilayers have great potential for EUV spectroscopy applications. The models derived from this study will allow for designing efficient EUV multilayer gratings for future spectro-imaging instruments.

Backmatter

Funding. CNES, convention N" 210134/00

Fig. 1 .

 1 Fig. 1. schematic diagram for the gratings with periodic multilayers (𝑁 = 6) at two different grating heights (a) type 1 and (b) type 2.

Fig. 2 .

 2 Fig. 2. GIXR measurements and the EMA model were conducted for both grating types without multilayers. The data for grating type 1 and its corresponding model have been shifted by 10 2 units.

  good agreement with the groove depth measured by AFM before deposition and are higher than the specified values for both types of gratings.

Fig. 3 .

 3 Fig. 3. RCWA simulations were employed to analyze the correlation between wavelength, grating efficiency, and grating depth for multilayers on lamellar gratings with 𝑁 = 6 periods, specifically considering (a) multilayers periodic design 1 and (b) multilayers periodic design 2, while at (c) The grating efficiency influenced by grating slope (𝛼) for multilayer gratings with 𝑁 = 6 periods, with a focus on multilayers periodic design 1 at (ℎ 1 = 5.3𝑛𝑚, 𝜆 = 19𝑛𝑚) and multilayers periodic design 2 at (ℎ 2 = 16.1𝑛𝑚, 𝜆 = 21𝑛𝑚).

  (a) and Fig.4(b), the optimized multilayer designs for grating type 1 are shown. Fig.4(a) shows the thickness of each layer for a 18-layer design, while Fig.4(b) shows the thickness of each layer for a 24-layer design. The optimized designs aim to achieve broadband efficiency from 17-21 nm.Similarly, in Fig.4(c) and Fig.4(d), the optimized multilayer designs for grating type 2 are shown. Fig.4(c)shows the thickness of each layer for an 18-layer design, while Fig.4(d)shows the thickness of each layer for a 24-layer design. The optimized designs aim to achieve broadband efficiency from 19-23 nm.4.4. Comparison of periodic and aperiodic multilayer reflectanceThe simulation results for various periodic and aperiodic multilayers with 𝑁 values of 4, 6, 8, and 10 on a flat Si substrate, without considering the material roughness, are shown in Figs.5(a-b).

Fig. 5 (

 5 Fig.5(a) shows the broadband reflectance ranging from 17-21 nm, which is applicable for grating type 1, while Fig.5(b) demonstrates the wideband reflectance from 19-23 nm, appropriate for deposition on grating type 2.

Fig. 4 .

 4 Fig. 4. depth distribution of layer thicknesses in the aperiodic multilayer structures for (a) design 1, (b) design 2, (c) design 3, and (d) design 4.

Fig. 5 .

 5 Fig. 5. Simulated reflectance of optimized periodic Al/Mo/SiC multilayers with varying numbers of periods and aperiodic Al/Mo/SiC multilayers is presented as a function of wavelength at 𝜃 = 5 • , intended for use with (a) grating type 1 and (b) grating type 2.

Fig. 6 .

 6 Fig. 6. illustrates the measured and fitted curves for three different multilayer samples: the 10-period Al/Mo/SiC multilayer (sample MP21074), the 18-layer aperiodic Al/Mo/SiC multilayer (sample MP21076), and the 24-layer aperiodic Al/Mo/SiC multilayer (sample MP21082). Subfigure (a) presents the GIXR curves at 𝜆 = 0.154 nm, with samples MP21076 and MP21074 being shifted by 10 5 and 10 9 , respectively. Subfigure (b) displays the SXR curves at 𝜃 = 5 • .

Fig. 7 . 6 .

 76 Fig. 7. displays the measured and fitted curves for three distinct multilayer samples: the 10-period Al/Mo/SiC multilayer (sample MP21075), the 18-layer aperiodic Al/Mo/SiC multilayer (sample MP21077), and the 24-layer aperiodic Al/Mo/SiC multilayer (sample MP21083). In subfigure (a), GIXR curves at 𝜆 = 0.154 nm are presented, with samples MP21077 and MP21075 being shifted by 10 5 and 10 9 , respectively. Subfigure (b) shows SXR curves at 𝜃 = 5 • .

Fig. 9 .

 9 Fig. 9. AFM average groove profiles before (on black) and after (on colored) the deposition of Al/Mo/SiC for grating type 2 as a function of the number of periods; every profile is shifted by 20 nm in Z-Scale.

Fig. 10 .

 10 Fig. 10. STEM analyses on multilayer grating type 1 with 10 periods (𝑁 = 10) including (a) HAADF image and (b-f) energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDX) images of individual elements: (b) aluminum (Al), (c) molybdenum (Mo), (d) silicon (Si), (e) oxygen (O), and (f) composite images of Al/Mo/Si. The scale bars represent 20 nm.

Fig. 10 and

 10 Fig.10 and Fig.11 depict the TEM images for the 10-period multilayer on grating type 1 and grating type 2, respectively. Fig.10(a) and Fig.11(a) display the high-angle annular dark-field (HAADF) scanning transmission electron microscopy (STEM) image of both samples. In HAADF, the high-density Mo layers appear bright, while the low-density Al and SiC layers

Fig. 11 .

 11 Fig. 11. STEM analyses for multilayer grating type 2 with 10 layers (𝑁 = 10) including: (a) HAADF image, and (b-f) EDX images of individual elements: (b) Al, (c) Mo, (d) Si, (e) O, and (f) composite images of Al/Mo/Si. The scale bars represent 30 nm.

Fig. 12 .

 12 Fig. 12. The computed values of 𝛼 from STEM analyses for the multilayer with 𝑁 = 10 are shown for (a) grating type 1 with a 20 nm HAADF scale bar and (b) grating type 2 with a 30 nm HAADF scale bar.

Fig. 13 .

 13 Fig. 13. Measured and modeled +1 order diffraction efficiency of the multilayer grating type 1 at 𝜃 = 5 • : (a) 𝑁 = 4, (b) 𝑁 = 6, (c) 𝑁 = 8, (d) 𝑁 = 10, (e) 18 layers aperiodic, and (f) 24 layers aperiodic.

ℎ 1 (𝑁 = 4

 14 nm) 𝛼 ( • ) to 𝑁 = 8 and then decreases at 𝑁 = 10. This is likely due to the change in grating profile shape measured by AFM and confirmed by TEM. As shown in Fig.8, the profile shape remains trapezoidal from 𝑁 = 4 to 𝑁 = 8, but at 𝑁 = 10, it changes to sinusoidal. This change in profile shape can lead to a decrease in diffraction efficiency. On the other hand, the peak efficiency for the periodic multilayers on grating type 2 (Fig.14(a-d)) increases from 𝑁 = 4 to 𝑁 = 6 and then starts to decrease from 𝑁 = 8 to 𝑁 = 10. This agrees with the evolution of the grating profile shown in Fig.9, which remains trapezoidal only in 𝑁 = 4 and becomes sinusoidal from 𝑁 = 6 to 𝑁 = 10.

Fig. 14 .

 14 Fig. 14. Measured and modeled +1 order diffraction efficiency of the multilayer grating type 2 at 𝜃 = 5 • : (a) 𝑁 = 4, (b) 𝑁 = 6, (c) 𝑁 = 8, (d) 𝑁 = 10, (e) 18 layers aperiodic, and (f) 24 layers aperiodic.

Fig. 15 (

 15 Fig.15(a) displays how peak efficiency changes with the number of multilayer periods for grating types 1 and 2. Meanwhile, as shown on Fig.15(b), the bandwidth decreases as the number of multilayer periods increases from 𝑁 = 4 to 𝑁 = 10. The aperiodic designs with 18 layers

Fig. 15 .

 15 Fig. 15. (a) The peak efficiency for the first diffracted order of grating type 1 and type 2 varied at different values of 𝑁. and (b) The bandwidth of the first diffracted order for grating type 1 and type 2 also varied at different values of 𝑁.

Fig. 16 .

 16 Fig. 16. (a) The efficiency of the 6-periods multilayer grating simulation was affected by changes in the depth of the grating grooves at different values of 𝛼 while keeping the wavelength constant at 19 nm, and (b) +1 order efficiency measurement at 𝜃 = 5 • for the grating type 1 for 𝑁 = 8, 24 layers of aperiodic coatings, and for the grating type 2 for 𝑁 = 6, 24 layers of aperiodic coatings. Experimental data from Seely et al. [29] are also plotted for comparison.

Table 2 .

 2 Layer thickness and interfacial roughness values used to model the periodic test samples for grating type 1 and 2.

		Design 1	Design 2
	Material	Thickness Thickness	Interface	Roughness
	Top Oxide layer	0.50 nm	0.50 nm	Top surface	0.30 nm
	SiC	1.99 nm	1.99 nm	Oxide-on-SiC	0.30 nm
				& Al-on-SiC
	Mo	4.33 nm	4.37 nm	SiC-on-Mo	0.60 nm
	Al	3.84 nm	5.01 nm	Mo-on-Al	0.70 nm
	Si Substrate	∞	∞	Al-on-Si substrate	0.35 nm

Table 4 .

 4 Grating type 2 parameters used to simulate +1 order efficiencies in Fig.14.

	𝑓 𝑓

ℎ 2 (nm) 𝛼 ( • )

  Table.3 for grating type 1 and Table.4 for grating type 2. The multilayer material thicknesses used to model the periodic and aperiodic samples are the theoretical values (see Table.2 and Fig.

Table 6 .

 6 RMS roughness of the surface before and after deposition measured by AFM for grating type 2.

	Sample	Before Deposition	After Deposition
		Top	Bottom	Top	Bottom
	𝑁 = 4	0.30 nm 0.30 nm 0.89 nm 0.56 nm
	𝑁 = 6	0.44 nm 0.48 nm 0.91 nm 0.52 nm
	𝑁 = 8	0.65 nm 0.83 nm 1.15 nm 0.60 nm
	𝑁 = 10	0.47 nm 0.47 nm 1.20 nm 0.45 nm

Acknowledgments.

This work was performed under the auspices of the Institut d'Optique Graduate School, Université Paris-Saclay, the authors are also extending their thanks to Pascal Mercere (SOLEIL Synchrotron) for his technical assistance and valuable advice during the synchrotron measurements.

We extend our gratitude to Marc Bonnet for his valuable contributions to FIB sample preparation at CentraleSupélec within Université Paris-Saclay.

Disclosures. The authors declare no conflicts of interest.

Data availability. Data underlying the results presented in this paper are not publicly available at this time but may be obtained from the authors upon reasonable request.

Appendix


Annelies Braffort
email: annelies.braffort@limsi.fr

Laurence Bolot

Jérémie Segouat

Virtual Signer Coarticulation in Octopus, a Sign Language Generation Platform

Keywords:

This work is related Sign Language utterance generation and coarticulation. It first lists the important feature to tackle in such systems, and introduce the notion of coarticulation in SL. Then, we describe one of our SL generation platforms, and the way coarticulation is integrated. The current version allows us to evaluate the settings for some coarticulation effects, such as transition and sign durations.

Introduction

Limsi initiated a few years ago a virtual signer project [START_REF] Filhol | Signing Avatar: Say hello to Elsi![END_REF] with the purpose of generating French Sign Language (LSF). There already exist European projects capable of producing sequences of signs [START_REF] Elliott | Linguistic modeling and language-processing technologies for Avatar-based sign language presentation[END_REF], but we would like to take them a step further on various aspects: linguistic modelling allowing us to generate sentences making use of space, naturalness of body animation, non-manual features, and coarticulation. We have recently integrated in one of our generation platforms, called Octopus, a module dedicated to coarticulation.

This paper describes the coarticulation module used in Octopus. Section 2 goes through the main characteristics of LSF and addresses the consequent problems posed for coarticulation phenomenon. Section 3 presents the Octopus software platform as well as the methodology we chose for coarticulation management. Section 4 states our progress and discusses some of the prospects.

SL utterance generation: tackling coarticulation

The number of body features involved in LSF communication allows for a lot of information at once: Sign Languages (SLs) do not only use hands, but also shoulders, eye gaze, facial expression, head movements; linguistic studies of LSF show a heavy and consistent use of the signing space, i.e. the portion of space in which the signs are performed; iconicity is also an important feature of both its lexicon and its grammar. It is proven by linguists that often neglected details such as eye gaze or tension all contribute to the construction of meaning in a more than significant way [START_REF] Liddell | Grammar, gesture and meaning in American Sign Language[END_REF][START_REF] Cuxac | La Langue des Signes Française (LSF) -Les voies de l'iconicité[END_REF].

Another important factor concerns coarticulation. Coarticulation is interested in all the consequences generated by the simultaneous operation of several articulators. In addition, numerous studies related to speech have shown that the effects of coarticulation extend well beyond the immediate neighbouring phonemes, thus proving that this phenomenon is not completely due to physical constraints or inertial effects. Coarticulation is crucial to the intelligibility of the sentence. If a sentence is synthesized without any constraint of coarticulation between phonemes, this sentence is incomprehensible. Thus this factor must be taken into account in SL generation for a better understandability of the animations.

Linguistic studies have studied coarticulation effects on handshape [START_REF] Cheek | The phonetics and phonology of handshape in American Sign Language[END_REF] and place of articulation [START_REF] Mauk | Undershoot in two modalities: Evidence from fast speech and fast signing[END_REF][START_REF] Grosvald | Long-Distance Coarticulation: A Production and Perception Study of English and American Sign Language[END_REF]. But at this moment, most of the SL generation systems don't tackle coarticulation, but only transition from one gesture to another, generally by means of a simple interpolation [START_REF] Elliott | Linguistic modeling and language-processing technologies for Avatar-based sign language presentation[END_REF], or based on biological knowledge [START_REF] Lebourque | A Complete System for the Specification and the Generation of Sign Language Gestures[END_REF]. We try at Limsi to handle studies on coarticulation [START_REF] Segouat | Toward Modeling Sign Language Coarticulation[END_REF] in order to integrate knowledge on that factor in our SL generation platforms. The first effect that we want to integrate is a control on the transition between the signs, and modification of the sign duration. We present now the first steps of such integration in one of our platform, Octopus.

Coarticulation management into LIMSI's Octopus platform

One of the LIMSI's SL generation platforms, called Octopus [START_REF] Filhol | Signing Avatar: Say hello to Elsi![END_REF], allows us to evaluate the coarticulation models we are elaborating. Octopus handles the generation of a SL utterance as follows: -There is no animation generation: a list of predefined animation of signs or sequences of sign is stored in a database; we will keep called them sequences in the following. -A SL utterance is built by a concatenation of sequences.

-For all signs the realisation of which varies regarding to the context (e.g. pointing), for simplification, we predefine several realisations [START_REF] Sansonnet | Towards interactive web-based virtual signers: first step, a platform for experimentation design[END_REF]. -Lastly, each utterance contains prologue and epilogue gestures, allowing the virtual signer to begin and to end the utterance in a rest posture. These sequences are built using rotoscoping, including prologue and epilogue gesture, in order to build as realistic animations as possible, and to keep the isolated sequences in the context of a continuous flow, which is useful for coarticulation studies.

In the very first version of Octopus, coarticulation was implemented as a simple interpolation between the last frame of a sequence and the first frame of its following sequence. Thus the rest posture was interposed between each sequence. Fig. 1 shows an example of animation containing two sequences: the signs for the numbers one (2 nd image) and two (4 th image), with intermediate rest postures at the beginning and the end of the utterance, and between the two sequences (1 st , 3 rd and 5 th images). The current version of Octopus now allows specifying the frames that can be excluded from the transition and the duration of the transition. Fig. 2 shows the same succession of signs [START_REF] Cheek | The phonetics and phonology of handshape in American Sign Language[END_REF] and [START_REF] Cuxac | La Langue des Signes Française (LSF) -Les voies de l'iconicité[END_REF], but with a more realistic transition (3 rd image).

Fig. 2. Transition between signs [ONE] and [TWO] using coarticulation parameters

Moreover, it allows setting another coarticulation parameter, the modification of sequence duration: each sequence can be extended or shortened in context. This effect has been studied in [START_REF] Huenerfauth | Evaluation of a psycholinguistically motivated timing model for animations of American Sign Language[END_REF] and [START_REF] Segouat | Toward Modeling Sign Language Coarticulation[END_REF]. What have been implemented here corresponds to a global effect: duration of sign in context is shorter than duration of isolated sign. Fig. 3 shows the interface that allows duration parameters to be modified, tested by hand, and stored in an XML file.

Current progress and prospects

We have presented in this paper a work related to Sign Language utterance generation and coarticulation. We have described Octopus, one of our SL generation platforms, and the way it integrates coarticulation. The current version of Octopus allows us to set and evaluate some of the coarticulation rules, related to the transition and sequence durations. For the next steps, we will integrate more coarticulation effects: modification of handshape and of place of articulation. Evaluation will be performed using a subjective method, by showing to a sufficient number of subjects various utterances, with several versions of the coarticulation parameters. In the future, the XML file containing the coarticulation parameters will be automatically generated using coarticulation rules integrated in a set of SL grammar rules.

Fig. 1 .

 1 Fig. 1. Transition between signs [ONE] and [TWO] using an intermediate rest posture.

Fig. 3 .

 3 Fig. 3. Interface for selecting some coarticulation parameter values.

Acknowledgment

The research leading to these results has received funding from the European Community's Seventh Framework Programme (FP7/2007-2013) under grant agreement n° 231135.


Antonella Di Trani

Introduction

Dans le ghetto de Venise se dresse sur un mur de briques du campo ghetto novo, un monument avec sept bas-reliefs en fonte qui commémorent et illustrent, dans la tourmente de leur matière noire, des épisodes de l'Holocauste. Au sommet du monument, un fil de fer de barbelé ajouté bien après la création de l'oeuvre d'Arbit Blatas, en 1986, conduit parfois à des malentendus sur le passé du lieu et la façon de le percevoir. Entre l'histoire d'une l'ancienne enclave institutionnalisée et les images qui s'attachent au mot « ghetto », les visiteurs pensent que le fil de fer de barbelé est ce qui reste d'un ghetto de la Deuxième Guerre mondiale, qui n'a pourtant jamais existé en ce lieu [START_REF]Des rafles et déportations ont eu lieu dans le ghetto entre décembre 1943 et les premiers mois de[END_REF] .

Le fragment de fil de fer de barbelé vient également couper une ligne : l'ancienne limite historique du ghetto institué en 1516, qui se confond avec la matérialité d'ensemble du ghetto contemporain, alors que cette même limite est aussi tangible sur les plans d'archives que dans les discours des acteurs qui la réactivent, attachant par là même de nouvelles significations au ghetto en transformation. D'autres éléments matériels, situés en face et autour du monument, renvoient à une période plus récente : les années 1990, décennie qui marque l'arrivée dans le ghetto de la communauté de jeunes missionnaires Loubavitch, en provenance majoritairement de Londres et du quartier de Crown Heights à New York 2 . Dans des locaux assez exigus situés au rez-de-chaussée donnant sur le campo ghetto nuovo, ils ont installé une petite synagogue faisant également office de Yeshiva [START_REF] Yeshiva | י ש י ב ה ) :centre d'études de la Torah et du Talmud[END_REF] , et plus loin, on trouve la Beit 4 Habad-Loubavitch : la « maison Habad 5 -Loubavitch », à partir de laquelle se déploient les pratiques quotidiennes prosélytes du groupe hassidim [START_REF]Le hassidisme est un mouvement religieux qui a émergé dans le judaïsme au cours de la seconde moitié du XVIII e siècle en Ukraine. Il est structuré autour d'une forte cohésion communautaire et d'un leader charismatique. Le mouvement se caractérise particulièrement par la manifestation de l'extase et une ferveur religieuses collectives[END_REF] . L'un des principes de leur action à Venise est de revitaliser la vie juive locale [START_REF] Buckser | Chabad in Copenhagen, Fundamentalism and Modernity in Jewish Denmark[END_REF] , ce qui amène les juifs vénitiens, dont les descendants des familles qui ont habité le ghetto, à repenser leur rapport avec ce qu'ils nomment leur « lieu de repère » et « référence historique » liée à la vie juive.

Le ghetto et sa matérialité se manifestent à travers des temporalités singulières. Il est à la fois le support de pratiques quotidiennes et commémoratives, de modes d'appropriation variés de l'espace public et du dense passé historique local faisant émerger des récits s'inscrivant dans les enjeux du présent. Ces éléments, qui coexistent parfois de façon ambiguë et dissonante, viennent réactualiser, au regard du cas vénitien, la définition même du « ghetto », terme qui comme l'a montré l'abondante littérature à ce sujet, subit des ruptures, des glissements sémantiques et traverse des contextes géographiques, politiques et historiques très variés [START_REF] Green | Religion et ethnicité : de la comparaison spatiale et temporelle[END_REF] . La coexistence des aspects complexes qui le composent vient illustrer un exemple à contrecourant de la théorie de l'empilement narratif. Le ghetto ne se donne pas à comprendre dans le découpage et la succession de strates 9 clairement identifiées de son histoire, mais à travers ses usages variés au présent. Temporalités et discours s'entremêlent aussi dans un récent processus de revitalisation et de revalorisation du ghetto.

Les acteurs locaux, juifs vénitiens, habitants du ghetto et nouveaux arrivants, les jeunes missionnaires hassidiques ont tous participé de façon différente à la construction sociale du ghetto, de par leur trajectoire résidentielle, leur ordre d'arrivée dans le lieu, la façon de se l'approprier et le pratiquer. Ils ne mobilisent donc pas les mêmes registres discursifs par rapport à l'ancienne enclave et extraient des récits dans des sources distinctes.

Si le ghetto de Venise a fait l'objet d'abondants travaux historiques académiques et de vulgarisation, aucun document ne traite du cas vénitien du point de vue de l'anthropologie urbaine, à partir des pratiques des acteurs et processus de transformations matérielles et sociales à oeuvre en ce lieu. Les productions savantes qui traitent de la notion de ghetto et de son histoire sont nombreuses. Ce matériau dense nous donne une compréhension fine des aspects complexes du ghetto mais laisse une place considérable à de nouvelles pistes et approches disciplinaires.

Cet article se propose, en partant d'une lecture des sources sur les ghettos, d'analyser les modes par lesquels les acteurs impliqués dans celui de Venise s'appuient et font un usage dissonant de l'histoire et des récits locaux pour réinventer l'ancienne enclave. Ces regards sur le passé réactualisent les pratiques, le rapport des acteurs à l'espace et les images d'un espace en devenir.

Après la présentation des choix méthodologiques et éléments relatifs à l'enquête ethnographique liés à l'analyse du cas de Venise, nous nous intéresserons dans un premier temps aux productions savantes issues de diverses disciplines, pour ensuite montrer comment les acteurs impliqués dans l'ancienne enclave réactivent et font un usage varié de l'histoire dans un ghetto en cours de redéfinition. Ensuite, il s'agira d'étudier et décrire les modes d'appropriation de l'espace public du ghetto de Venise, où se jouent des conflits de visibilité et de légitimité à représenter son propre groupe au détriment de l'autre, dans la volonté d'inscrire en ce fragment urbain emblématique une nouvelle forme de judéité. Il s'agit de reconsidérer par là même la notion de ghetto.

L'approche du ghetto à travers une anthropologie du réel, méthodologie et enquête. 9

Le présent article est issu d'une recherche intitulée « Le ghetto de Venise, anthropologie contemporaine d'une ancienne enclave urbaine10 ». L'analyse s'appuie sur une enquête ethnographique de longue durée (dix-neuf mois) et d'une série d'entretiens semi-directifs (98) avec les acteurs présents dans le ghetto au quotidien, l'ensemble des habitants, toute appartenance confondue, les commerçants, le personnel du musée du Judaïsme. L'enquête s'est déroulée auprès des juifs vénitiens à la fois dans le ghetto, leur lieu de résidence 11 ou d'activité quotidienne, et dans l'ensemble de la ville pour ceux qui y habitent mais qui se rendent régulièrement dans le ghetto. Une série d'entretiens a aussi été réalisée auprès de la communauté Loubavitch dans l'espace public et dans leurs lieux de rassemblement. Les propos recueillis auprès des visiteurs montrent la diversité du public venant de l'extérieur : tandis que l'intérêt des uns se tourne vers le Musée du judaïsme et du ghetto en tant que « lieu historique juif », celui des autres se focalise sur les fêtes ou les rites religieux qu'ils viennent célébrer auprès des Loubavitch ou chez les juifs vénitiens. Après ces points de méthodologie justifiant les choix mobilisés au cours de l'enquête de terrain, il s'agit à présent de faire état des productions savantes pour mieux situer le ghetto de Venise par rapport aux différentes formes d'enclaves. Au-delà de ces sources a émergé aussi une littérature locale créée et appropriée par les acteurs.

Retour sur les productions savantes : le ghetto de Venise, entre l'histoire des enclaves, les ghettos de la sociologie et l'anthropologie.

Si les productions savantes constituent un dense matériau qui nous permet d'avoir une compréhension des logiques et spécificités qui composent les « ghettos », elles forment aussi à plus petite échelle un maillage de productions et de sources réappropriables par les acteurs soucieux de reconstituer un récit local commun. Au-delà de ce qui est produit par les érudits, les habitants du ghetto s'appuient en effet sur une littérature historique partagée oralement dans les situations de sociabilité. Savoir énoncer où ils habitent sur la base d'un registre savant et indiquer leur connaissance du lieu est une façon d'affirmer leur appartenance à cette partie de la ville. Cela est d'autant plus marqué qu'ils sont conscients de l'émergence de conflits autour de la question : « à qui appartient le ghetto ? » dans le contexte de sa revalorisation.

Dans ce projet qui implique la réappropriation du passé du lieu, les habitants chrétiens ou de toutes appartenances confondues, les juifs vénitiens ou les Loubavitch s'efforcent d'en valoriser certains aspects, par la recherche de sources historiques et récits qu'ils mettent en avant, jusqu'à en délaisser d'autres liés à l'image négative de l'ancien lieu de ségrégation. Ils opèrent par là un choix dans la trame du temps en y extrayant des séquences qui répondent à leurs préoccupations. Ainsi, pour ces différents acteurs, « […] le passé incarné par le lieu et par ses reliques fait avant tout le lien entre les membres de la communauté […] 20 ».

En parcourant les productions académiques et ouvrages consacrés au ghetto de Venise, La città degli ebrei, de l'historienne de l'architecture Donatella Calabi et des architectes Ennio Concina, et Ugo Camerino, paru en 1991 [START_REF] Calabi | Il ghetto e la città[END_REF] , fait sans doute figure d'ouvrage de référence. Dans un des chapitres, Calabi y analyse le ghetto à diverses échelles, en articulant l'histoire de sa formation et les conditions singulières de son inscription dans le tissu urbain vénitien en tant qu'espace coercitif. Ugo Camerino et Elio Concina mettent en lumière les reliefs des synagogues, connaissances qui s'insèrent dans la problématique sans cesse renouvelée de la conservation des lieux de culte.

Calabi replace aussi le ghetto dans une logique plus vaste, à la fois politique et sociale qui est celle de l'histoire des relations entre les communautés étrangères et la République de Venise. La description des spécificités urbaines du ghetto, qui persistent dans sa forme originelle dans la ville, s'articule avec l'analyse architecturale, en mettant en évidence une typologie particulière de logements, les immeubles à neuf étages, encore tangibles et saisissants du point de vue historique mais aussi du fait de leur singularité formelle. Dans un espace surpeuplé, les juifs de l'époque de l'enclave avaient fragmenté les appartements de façon presque systématique. Les habitants mobilisent des connaissances historiques au présent dans la description de leur condition d'habiter, de l'inconfort des configurations spatiales héritées ayant nécessité un travail de réagencement laborieux des espaces.

Au-delà de ces aspects, la littérature nous montre aussi la place de l'exemple vénitien dans l'histoire des ghettos et quartiers juifs italiens en formation en mettant en avant la distinction entre enclaves institutionnalisées et les lieux de regroupement volontaires des communautés juives [START_REF] Calabi | Les Quartiers Juifs en Italie entre XV e et XVII e siècle. Quelques hypothèses de travail[END_REF] .

Des ouvrages recouvrant le registre biographique sont produits à l'initiative des érudits locaux, dans un souci de valoriser le passé du lieu et les figures qui ont marqué culturellement le ghetto. La littérature qui fait référence à différentes périodes du ghetto est constituée à partir de documents mêlés, n'ayant pas le même statut ni les mêmes usages : des archives familiales ou publiques émanant en partie de la communauté juive vénitienne [START_REF] Calimani | Storia del ghetto di Venezia, 1516-2016[END_REF] La reconstitution a aussi pour effet de rassembler les membres d'une même communauté préoccupée par sa dévitalisation, et nous renseigne sur les conditions de production et de diffusion de ces textes. Les érudits locaux les inscrivent dans le fil des événements commémoratifs en les faisant paraître à l'occasion de la journée de la mémoire de 2003. Le travail de collecte de ce qui « reste » de la vie juive dans le ghetto se retrouve dans d'autres ouvrages de l'auteur [START_REF]La Parlata giudeo-veneziana[END_REF] , consacrés à la langue qui était parlée dans le ghetto, le judéo-vénitien. L'émergence de cet ouvrage et la valorisation de cette langue vernaculaire interviennent dans le contexte de sa disparition dans le ghetto. La question de la langue prend d'autant plus de sens que dans ce lieu « historique » où la population s'est recomposée, les Loubavitch parlant l'hébreu et l'anglais.

Les productions savantes locales coexistent avec une littérature plus vaste [START_REF] Lapeyronnie | Ghetto urbain : ségrégation, violence, pauvreté en France aujourd'hui[END_REF] Le campo est perçu comme un espace public ouvert et ample, permettant une multitude de possibilités souples d'appropriation et d'interaction.

Selon le rabbin qui encadre les jeunes missionnaires Loubavitch dans le ghetto, le mouvement a pour vocation de s'installer dans les villes où les communautés juives sont en déclin, où il manque une vie quotidienne juive dynamique et bien organisée autour des festivités religieuses. Élise Berman montre que les repas de Shabbat font partie de leur activité de sensibilisation et de rayonnement du mouvement 40 . À Venise, ces repas sont particulièrement vivants et attirent beaucoup de visiteurs. Il s'agit aussi pour les Loubavitch d'amener les juifs locaux à rejoindre leur mouvement ou à attirer les touristes juifs de passage. Cependant, leur approche ne suscite pas l'adhésion de la communauté juive locale, soucieuse de préserver un judaïsme spécifiquement vénitien et de reconstruire sa cohésion autour de l'histoire longue du ghetto.

La cohabitation entre une communauté juive locale ancienne et une nouvelle provenant de l'extérieur aboutit fréquemment à des conflits. Dans de rares discours, la position de certains juifs vénitiens peut être nuancée : ils reconnaissent que la présence des Loubavitch contribue à faire du ghetto un lieu d'accueil, notamment autour des repas cacher, pour les visiteurs juifs de l'extérieur. Si les relations sont cordiales dans les premiers temps, lorsque les hassidiques s'installent dans une ville, elles se muent en rapports de concurrence au fil du temps, comme le montre bien Andrew Buckser à propos des relations entre communauté hassidique et juifs locaux dans la ville de Copenhague 41 . À Venise, ce sont surtout les pratiques autour du prosélytisme qui font l'objet de critiques et de rejet, tant de la part des habitants que de la grande partie de la communauté juive locale. À cela s'ajoute une disqualification de ce qui constitue le « folklore » du groupe, les occupations festives de l'espace public trop visibles ou bruyantes. L'installation de la cabane de Sukkah 42 près de leur synagogue soulève des contestations sur la légitimité de l'occupation éphémère de l'espace public.

La présence et la visibilité des juifs vénitiens dans l'espace public du ghetto se distinguent de celle des hassidiques. Pour les locaux, le ghetto n'est pas le lieu où ils habitent, ou un lieu d'activité principale, hormis pour ceux qui y travaillent, mais un lieu où l'on retourne, un lieu de pratiques liées à la vie communautaire, sociale, culturelle et religieuse. Un membre de la communauté affirme à ce propos que la vie des juifs vénitiens se déroule dans le ghetto même si elle est invisible ou discrète. Par leurs pratiques hétérogènes les juifs vénitiens et les Loubavitch ne se rencontrent pas et tracent des lignes invisibles d'un entre-soi à l'intérieur même des anciennes limites historiques du ghetto.

Les lieux de regroupement des Loubavitch sont visibles de façon quotidienne et permanente autour de leurs locaux et activités implantés au rez-de-chaussée du ghetto, tandis que les moments de sociabilité dans l'espace public sous forme de regroupement de la communauté juive locale se tiennent surtout de façon assez éphémère sur le campiello delle scuole, le samedi, à l'issue de l'office et lorsque la communauté traverse le ghetto pour se rassembler autour du Kiddush 43 dans le campo ghetto nuovo.

La question de la visibilité dans l'espace public est au centre d'une querelle : les « établis » se définissent comme discrets en opposition aux façons de faire des Loubavitch. Pour conclure, la confrontation d'un double regard sur la production savante autour de la notion de ghetto et des modes d'émergence et réappropriation d'une littérature locale, avec une analyse anthropologique soucieuse de restituer le réel du cas de Venise, montre que des récits composites s'attachent tout à tour à un lieu historique en cours de redéfinition.

Les usages de l'espace public et du dense passé historique du lieu incluant l'intérêt marqué pour l'événement fondateur de l'enclave renvoient à l'attachement que chacun porte à une matérialité prise dans des enjeux contemporains. Ils touchent la revitalisation du ghetto, la construction d'une judéité réactualisée et la volonté de faire persister une forme d'authenticité propre au ghetto qui oblige les uns et les autres à réajuster leur perception à la réalité en train de se faire. Au regard des transformations sociales à l'oeuvre dans l'ancienne enclave, la notion de ghetto recouvre un sens supplémentaire en même temps que se dessine, au-delà de ses anciennes limites historiques réactivées dans les discours, des limites internes, des « îlots » qui se confrontent au regard du public extérieur. Entre pratiques en concurrence et ce que les acteurs tentent de rendre visible, le ghetto nous donne à voir, au fil des temporalités qui se répondent, une chronique des modes de recomposition de son présent continu.

BIBLIOGRAPHIE

Alban Bensa, « Fièvres d'histoires dans la France contemporaine », dans Alban Bensa, Daniel Fabre (dir.), Une histoire à soi. Figurations du passé et localités, Paris, Éditions de la maison des

Figure 1 .

 1 Figure 1. Clôture du défilé du parcours de la mémoire du 25 avril sur le campo ghetto nuovo, en présence entre autres de l'ANPI

Figure 2 .

 2 Figure 2. Plan du Ghetto de Venise Guido Sullam, « Plan montrant le développement du Ghetto de Venise de 1516 à 1797, Venise, 1936. Les différentes zones hachurées montrent le Ghetto nuovo (1516), Ghetto Vecchio (1541), Ghetto Nuovissimo (1633) » Lorsque je suis arrivée dans le ghetto, la confrontation avec ce lieu a fait d'emblée apparaître un aspect matériel singulier : l'absence de contraste tranchant entre le ghetto et son paysage urbain et architectural environnant. Hormis par les immeubles à neuf étages, il se fond dans le tissu urbain et ne fait pas figure de quartier « à part ». On y retrouve la trame urbaine ainsi la même déclinaison d'éléments formels récurrents : rue, pont, place, magazzini 33 au rez-de-chaussée.

  et des récits oraux. Ces éléments font tour à tour émerger des aspects méconnus du ghetto, au-delà des sources historiques habituelles. Un enseignant qui travaille à la Bibliothèque-archives dans le ghetto a valorisé à travers des ouvrages la biographie d'un rabbin et d'une écrivaine 24 . Dans le premier cas, les éléments biographiques issu d'un travail de collecte entre l'auteur et les descendants du rabbin mettent en avant le portrait de ce que les locaux appellent « une figure du ghetto ». L'auteur dit à ce propos :

Les photos m'ont été données par les membres de sa famille. Nous les avons choisies ensemble. J'ai recueilli des documents ici et là, des correspondances. Nous avons utilisé ces sources et donc le portrait qui en ressort est assez complet du point de vue de son profil moral, moins sur l'aspect historique.

  exclusivement par une communauté noire, et pour distinguer celui-ci des autres ghettos avec une présence hispanique importante[START_REF] Wacquant | Pour en finir avec le mythe des "cités-Ghettos" : les différences entre la France et les États-Unis[END_REF] .Louis Wirth décrit les « quartiers », ou « aires » dans lesquels se succèdent des groupes de provenance différente, et où cohabitent des membres d'une même communauté, sans pour autant tous les regrouper en un même lieu subjectivement circonscrit. Wirth souligne que le mot ghetto est d'abord employé pour désigner un « quartier Juif » à Chicago[START_REF] Wirth | The Ghetto[END_REF] , mais que l'hétérogénéité et la recomposition de la population du ghetto s'expliquent par des processus de mobilité de ses habitants d'une zone à l'autre. Par ailleurs, lorsqu'on nomme un « quartier », on ne convoque pas uniquement la toponymie dans sa dimension objective mais aussi tous les contextes d'énonciation formant un maillage sémantique et référentiel. Les usages faits d'emprunts, de transposition voire d'effet d'exotisation font apparaître les notions telles que « quartier ethnique », « quartier », ou « ghetto » comme des notions figées, qui se confondent parfois et qui sont convoqués dans les situations d'interlocution en dehors de leur histoire propre. Comme le souligne Nancy Green, « […] la notion de ghetto plane toujours sur celle de quartier ethnique et vice-versa[START_REF] Green | [END_REF] ». Cependant « le quartier ethnique présenterait […] une faiblesse inhérente : tout membre d'un groupe n'y réside pas et il n'y a pas que les membres du groupe qui y résident 30 ».La population du ghetto de Venise au moment de l'enquête est composite, non seulement parce que le lieu a perdu sa fonction coercitive, mais aussi parce qu'il se définit autant par la présence des juifs qui y habitent ou qui y retournent que par les pratiques récurrentes des habitants chrétiens et la population des jeunes Loubavitch, qui se renouvelle selon la durée du programme d'études talmudiques qu'ils suivent à Venise. Si l'on songe à la population du ghetto de Venise au temps de l'enclave, tous les membres d'un groupe étaient contraints d'y résider et seuls ceux-ci y habitaient, sur une décision du Sénat 31 instituant un lieu de résidence forcée pour les habitants juifs. L'histoire nous a montré qu'il était un lieu ambivalent : d'enfermement spatialement circonscrit[START_REF]Seules les activités bancaires et les fripes étaient autorisées dans le ghetto[END_REF] dont les accès étaient surveillés par des gardes, mais aussi un lieu de cohésion de la communauté qui a produit une histoire sociale spécifique et une culture du ghetto : « C'est ce lieu que [les acteurs] au présent veu[lent] retrouver » dit un membre de la communauté juive.Il convient à présent de s'intéresser au ghetto en tant qu'espace de force et support de pratiques contrastées ou ambivalentes entre groupes d'acteurs qui ne partagent pas ou peu la vision du ghetto en devenir.

se référant à la notion de ghetto. Elles montrent à partir du cas vénitien que le mot « ghetto » se retrouve transposé dans d'autres contextes et outre-Atlantique. Loïc Wacquant a bien mis en évidence le caractère instable et hétérogène de la population du ghetto. Il mentionne même le terme d'« hyperghetto » états-unien, habité presque

Conflits dans l'espace public

Le ghetto actuel est composé de trois parties ghetto nuovo, ghetto vecchio, et ghetto nuovissimo. Elles correspondent à celles instituées respectivement en 1516, 1541 et 1633. Il comporte deux places reliées par un axe central sinueux : le campiello delle scuole, où se trouvent les deux synagogues en fonction aujourd'hui, des habitations, un espace marchand et le campo ghetto nuovo, beaucoup plus vaste, qui accueille aussi une fonction résidentielle et qui est aussi représentatif de la vie juive dans ses différents aspects actuels et son histoire. On y trouve la maison de repos des juifs vénitiens, les monuments, le musée, la bibliothèque et les bureaux de la communauté. L'espace marchand y est peu développé et se concentre autour des ateliers et boutiques de verre. Le ghetto nuovissimo se caractérise notamment par sa densité exclusivement résidentielle.

  marquage de l'étrangeté dans le territoire par le costume […] » ou la tenue vestimentaire[START_REF] Lepetit | [END_REF] .Du point de vue religieux, les jeunes hassidiques sont très visibles dans l'espace public à travers les chants et les danses. Comme le souligne Lucine Endelstein, « ils prennent l'espace urbain comme une terre de mission 37 ». Leurs pratiques sont une manifestation de la « devékuss, communion mystique et affective avec Dieu 38 ». Elle est « au centre des pratiques quotidiennes accompagnée d'un état émotionnel où se conjuguent ferveur et allégresse 39 ». Le prosélytisme fait partie des pratiques quotidiennes de la communauté Loubavitch. Elles se déroulent principalement dans l'espace public du campo ghetto nuovo : sur une aire relativement délimitée dans l'environnement direct du bureau d'accueil des Loubavitch. La communauté bénéficie d'une forte visibilité à travers ces activités, les jeunes s'appliquent à attirer l'attention des passants avec une mise en scène emphatique impliquant des postures avenantes et une façon agile d'occuper l'espace public. La configuration matérielle de la place et les spécificités urbaines du ghetto jouent un rôle important dans le déroulement des interactions visant à attirer l'attention les gens de passage.

	Un jeune Loubavitch m'expliquait au cours d'un entretien :
	jouent des
	formes de rivalité, des conflits de visibilité d'un groupe par rapport à l'autre et à partir
	duquel prennent naissance des stratégies de distinction entre les acteurs. Les
	désaccords n'impliquent pas seulement les juifs vénitiens et la communauté
	Loubavitch, mais aussi les habitants, les commerçants 34 du ghetto et les jeunes
	missionnaires. Une analyse des modes d'appropriation de l'espace public et des
	discours qui s'y rapportent rend compte de ces tensions qui font du campo un espace de
	force. C'est dans ce contexte que s'illustrent les différents récits et histoires sur les
	quartiers.
	Les manières de faire quotidiennes et religieuses des Loubavitch se distinguent très
	fortement de celles de la communauté juive locale. La communauté hassidique se donne

Il est paradoxalement peu visible alors qu'il se manifeste dans son caractère tangible par son intégrité matérielle d'origine. Dans cette configuration, si les signes renvoyant à la présence juive dans l'espace sont discrets, le ghetto n'en est pas moins un lieu où les différents groupes d'acteurs tentent de construire une représentation de la vie juive. L'espace public du ghetto de Venise est le support matériel où se à voir de façon manifeste dans l'espace public, tout d'abord à travers leur tenue vestimentaire orthodoxe traditionnelle

[START_REF] Chapeau Noir | costume noir et chemise blanche de laquelle dépasse de part et d'autre le Zizit[END_REF]

. Cela se rapproche de ce que Bernard Lepetit nomme un « […] Ici à Venise et surtout dans le ghetto il est facile d'établir un contact direct avec les visiteurs. Le fait que tout l'espace soit piéton, sans voitures, il n'y a aucun obstacle, c'est une grande place. Cela facilite nos activités missionnaires. Après, ils viennent ou non chez nous pour faire la prière. Le campo est vaste, et on n'est pas sur un trottoir étroit. Le ghetto de Venise a aussi l'avantage d'être un lieu connu et qui est en train de devenir touristique. Il y a beaucoup de passage.

  Les premiers affirment qu'ils n'ont pas besoin de se montrer de façon manifeste dans l'espace public, notamment avec une tenue vestimentaire orthodoxe « reconnaissable ». Cela tient à deux raisons : ils se définissent à la fois comme juifs et vénitiens, et en tant que communauté dont l'histoire est profondément ancrée dans celle de la ville de Venise par la persistance de leur lien généalogique au ghetto et ce pour marquer une appartenance juive et vénitienne double et indissociable. Selon eux, et au vu du contexte, s'ils sont amenés à réaffirmer leur appartenance au ghetto, la légitimité de leur présence en ce lieu n'est ni à construire ni à établir pour des raisons historiques. La concurrence entre les deux groupes, impliquant la question de la visibilité, se joue dans ce rapport à l'histoire du lieu. Un membre de la communauté locale souligne lors d'un entretien :Ce sont eux que l'on voit en premier dans les rues et sur le campo, mais c'est nous, les vrais juifs du ghetto, ceux de l'enclave de 1516, cela fait cinq cents ans que nous sommes là. Et certains d'entre nous sont nés dans le ghetto.Au-delà des distinctions qu'ils font persister face aux Loubavitch, les juifs vénitiens affirment que les nouveaux arrivants « déforment l'image du vrai ghetto » ou donnent « une image erronée du ghetto » et de la judéité vénitienne associée. Cet enjeu de visibilité est lié au regard d'un public extérieur à la fois témoin et observateur du processus de revalorisation du ghetto. La question de qui est visible ou qui se donne à voir sur le campo, configuration spatiale utilisée comme centralité, fait rejaillir la question de la représentation des deux communautés dans cet espace. Il existe une tension permanente autour de cette question : selon les juifs vénitiens, ce n'est pas la forte visibilité d'un groupe qui rend compte de la réalité du lieu et de son histoire. La question de la représentation met aussi en concurrence l'image des deux rabbins comme figures tutélaires de leur communauté et cela se joue aussi dans l'espace public. « Quelle communauté juive du ghetto ce rabbin représente-t-il ? » s'interrogent les visiteurs. Les missionnaires sont en majorité numérique par rapport aux juifs vénitiens, ils donnent le « ton » au lieu et ils sont très bien organisés par une forte structuration de leurs activités. Cet élément a une certaine efficacité en termes de représentation du groupe en ce lieu.La question de la concurrence entre juifs vénitiens et nouveaux arrivants se cristallise autour d'un enjeu qui fait l'objet de la querelle : quel groupe représente le mieux la judéité dans ce lieu emblématique, valorisé en tant qu'objet historique par les uns et lieu de vie juive par les autres ? L'espace public est au centre de ce rapport de force, qui prend d'autant plus d'ampleur qu'il est au centre de projet de revalorisation et de revitalisation du ghetto. Si les juifs vénitiens sont peu présents, les pratiques anciennes tels que le dernier « tour du défunt » et les commémorations autour des rafles de 1943 dans le ghetto font persister leur ancrage dans l'espace social et matériel du ghetto. L'absence des Loubavitch à ces deux manifestations comme à celle du défilé du parcours de la mémoire du 25 avril, qui se termine sur le campo, montre bien comment leurs divisions se transposent dans l'espace public.Il convient à présent de se pencher sur les différents modes de réactivation de l'histoire et ses usages, qui amènent les acteurs à percevoir le ghetto et son devenir de façon distincte. Cet élément pose la question des visions qui s'attachent au ghetto en devenir.Les juifs vénitiens ont un lien généalogique avec le ghetto, contrairement aux Loubavitch qui ne convoquent pas l'histoire locale dans les mêmes discours, selon les mêmes modes et registres. Bien que visibles et dynamiques, les missionnaires ont une expérience sociale et matérielle récente du ghetto. Elle est partielle, car elle correspond à une temporalité et une durée circonscrite dans le temps et débute au moment de leur implantation dans le ghetto. juifs vénitiens voient ce projet comme allant à contre-courant de leur conception du devenir du lieu. Pour certains d'entre eux, l'implantation des missionnaires dans le ghetto est un « phénomène artificiel », un « artefact » désincarné et hors du temps ne s'inscrivant pas dans l'histoire sociale du ghetto, mais entrant dans la logique de la construction du mouvement en réseau à travers le monde et dont l'espace public du ghetto est le support. Si les Loubavitch ne veulent pas voir le ghetto uniquement comme un lieu « historique », le passé local et le récit fondateur ne sont pas pour autant absents de leurs discours.Les Loubavitch ont un rapport complexe à l'histoire et aux récits qui sont rattachés au ghetto. Le choix de s'y implanter est aussi motivé par la possibilité qu'offre son histoire de faire un usage valorisant du lieu. Cependant en même temps qu'ils évoquent le « premier ghetto du monde » comme un objet hors du temps et figé à l'époque de l'enclave, ils rejettent certains aspects du passé pour s'ancrer dans le présent du ghetto. Les Loubavitch construisent leur parole et légitiment leur présence dans le ghetto en s'appuyant sur le récit fondateur, et l'origine du lieu, en somme sur ce qu'ils appellent le « premier ghetto du monde ». Le ghetto de Venise dans ce qu'il a de singulier est alors perçu très différemment des autres ghettos, comme le souligne cet étudiant Loubavitch : « Il y a aussi un Ghetto de Rome, mais ce n'est pas la même chose, celui de Rome on n'en entend jamais parler, celui de Venise c'est là que tout commence. » Les Loubavitch ne peuvent pas retracer l'histoire du ghetto à partir d'archives familiales, en faisant usage de témoignages directs ou indirects. L'une des plus grandes différences entre les deux communautés, c'est le manque d'une expérience commune du ghetto dans le temps. Dans leur quête du passé, les Loubavitch se voient amputés de la possibilité de se remémorer des événements qui ont tressé l'histoire sociale du ghetto, qui leur échappe. S'ils peuvent revenir sur l'histoire objective de l'ancienne enclave, ils ne peuvent pas convoquer un maillage de souvenirs pour en constituer ne serait-ce que partiellement ou de façon fragmentée les interactions qui forment le passé du lieu.L'attachement des juifs vénitiens à la matérialité du ghetto se lit par exemple dans l'intervention sur une structure comme le Musée du judaïsme, qui est justement en pleine rénovation avec un projet d'agrandissement. Contrairement aux établis, les Loubavitch n'ont aucune influence et ne participent pas aux processus de transformation lorsqu'il s'agit de repenser les ressources patrimoniales gérées par les locaux. Chez les juifs vénitiens, il y a une tension entre la volonté de faire du ghetto un lieu de vie juive quotidienne et le refus de le figer en tant qu'objet du passé.

	Usages dissonants de l'histoire
	La vision des établis, qui s'appuie sur le dense passé historique du ghetto et sur leur
	capacité à le réactualiser pour faire persister un récit commun, s'oppose à la vision du
	rabbin de la communauté Loubavitch :

Il s'agit d'un vrai défi, parce que les gens voient dans le ghetto uniquement un lieu historique, le lieu a une puissance spirituelle qui doit être valorisée, il n'y a pas que l'histoire pour vivre le judaïsme, il faut aussi quelque chose de nouveau pour l'avenir du ghetto.

Les

L'enquête comportait également, au sein des anciennes limites historiques du ghetto et dans son environnement direct, l'observation des pratiques et parcours quotidiens des acteurs et usages singuliers qu'ils font de l'espace public et habité, à différentes échelles et dans des temporalités différenciées. Les évènements publics ou communautaires tels que le défilé du 25 avril[START_REF]C'est dans le ghetto que se déroule la dernière étape du percorso della memoria : le « parcours de la mémoire » du 25 avril, célébrant la libération en Italie[END_REF] , les commémorations, le dernier tour du défunt[START_REF]Lorsqu'un juif de la communauté vénitienne décède, la communauté locale fait faire à son cercueil un dernier tour dans le ghetto, selon un parcours défini, avec des arrêts devant les synagogues, avant que le corps soit acheminé vers le cimetière de l'île du Lido[END_REF] , ou les rituels religieux du calendrier juif ont aussi fait l'objet d'observations tout au long du terrain.

Au-delà de ces aspects l'approche anthropologique du ghetto de Venise proposée se soucie d'être au plus près du réel, en accordant une attention particulière aux pratiques des acteurs, à la perspective historique et à la description des processus de transformations à l'oeuvre en ce lieu car « […] si l'on aborde un sujet à partir de ce qu'il peut avoir de permanent, afin d'en dégager les invariants il y a une négation de la temporalité, de l'histoire et du changement social[START_REF] Bensa | séminaire « Actualité de l'anthropologie[END_REF] ». Le recours à microhistoire et à l'« analyse à la loupe de faits circonscrits[START_REF] Ginzburg | cité par Alban Bensa[END_REF] » vient appuyer cette approche.

38. Jacques Gutwirth, La Renaissance du hassidisme : de 1945 à nos jours, Paris, Odile Jacob, 2004, p. 14.

Ibid.

40. Élise Berman, « Voices of Outreach: the Construction of Identity and Maintenance of Social Ties Among Chabad-Lubavitch Emissaries », Journal for the Scientific Study of Religion, vol. 48, n° 1, 2009, p. 69-85, spec. p. 74 The article proposes a new reading of the word ghetto with regard to the dense historical past of the case of Venice, a former enclave whose renewal is underway. While reviewing the semantic trajectory of the word ghetto and its use in different contexts, this contribution aims to show how the inhabitants, Venetian Jews, and young missionaries or newcomers, appropriate the local history of the ghetto in order to reaffirm their belonging to this "historical place", perceived differently by each in terms of the contemporary ghetto's issues and transformations. Actors initiate narratives and reactivate competing sequences of history depending on their involvement in the ghetto and the meanings that they attach to it. Who owns the ghetto and its history? This question leads to dissonant uses of the past and conflicts of visibility and representation within the public space of an emerging ghetto. antonella.ditrani@paris-valdeseine.archi.fr, aditrani@ehess.fr

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